費勉儀器的高效射頻等離子體裂解源，采用獨創(chuàng )的射頻聚焦激勵技術(shù)，4種高效固態(tài)射頻源作為驅動(dòng)電源(13.56MHz/433MHz/915MHz/2450MHz)，無(wú)需復雜的射頻匹配網(wǎng)絡(luò )，能夠有效提高氣體的離化效率。在等離子體引出口設置小孔結構，通過(guò)調節小孔結構優(yōu)化引出原子/離子的穩定性和均勻性。與傳統的射頻等離子體源相比,該裂解源能夠更好地控制由于開(kāi)關(guān)閥門(mén)和開(kāi)關(guān)射頻引起的束流不穩定性，同時(shí)該裂解源可以通過(guò)不同材料的放電腔體裂解產(chǎn)生不同的等離子體源如氮源，氧源和氫源等，廣泛應用于分子束外延系統（MBE）中氮化物生長(cháng)、氮原子注入和摻雜、氧化物生長(cháng)、氧原子的注入和摻雜以及氫原子表面的清洗等。
| ● 獨創(chuàng )的射頻聚焦技術(shù)：氣體離化效率高，等離子體源穩定性高 | ● 4種固態(tài)射頻驅動(dòng)：結構簡(jiǎn)單，無(wú)復雜的外部匹配網(wǎng)絡(luò )，易于操作 | ● 適用于N：N2, O2, H2, CH4, Ar, Kr 等多種工作氣體 |
| ● 緊湊超高真空設計，適用于CF35/CF63/CF100等各種安裝口 | ● 三個(gè)主要應用方向：MBE薄膜生長(cháng)用原子源，表面改性用離子源，真空清洗用等離子體源 |
| 離子源433 | 離子源915 |
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