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EN 021-6525 3206
四大核心技術(shù)
擁有強(qiáng)大研發(fā)團(tuán)隊(duì),積累了豐富的技術(shù)經(jīng)驗(yàn),及成熟產(chǎn)品線(xiàn)
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產(chǎn)品中心
費(fèi)勉提供新技術(shù)、新工藝及新材料等領(lǐng)域的整體解決方案
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    真空技術(shù)-直線(xiàn)互聯(lián)系統(tǒng)

    產(chǎn)品概述:

    直線(xiàn)互聯(lián)系統(tǒng)與圓型傳樣系統(tǒng)互為補(bǔ)充,均可實(shí)現(xiàn)樣品在超高真空的環(huán)境下在不同系統(tǒng)間的傳遞,但是側(cè)重點(diǎn)略有不同。圓形傳樣系統(tǒng)相對(duì)較為緊湊,適合于小型實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的互聯(lián)搭建;直線(xiàn)互聯(lián)系統(tǒng)單次傳遞的樣品尺寸和數(shù)量更多,適合于較大型的互聯(lián)搭建。同時(shí)圓形傳樣系統(tǒng)和直線(xiàn)傳樣系統(tǒng)也能實(shí)現(xiàn)互相搭配,例如圓形搭配直線(xiàn),圓形搭配圓形,或者直線(xiàn)再擴(kuò)展。費(fèi)勉儀器已經(jīng)有豐富的設(shè)計(jì)和搭建經(jīng)驗(yàn)和案例供用戶(hù)參考。

    直線(xiàn)互聯(lián)系統(tǒng)
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    薄膜制備-MBE-300

    產(chǎn)品概述:

    真空控制及保護(hù)系統(tǒng),集成真空規(guī)信號(hào)、分子泵控制、蒸發(fā)源保護(hù)、烘烤保護(hù)等功能。包含蒸發(fā)源、樣品架的溫度控制軟件,包含擋板控制軟件,熱風(fēng)式烘烤模塊,烘烤溫度均勻,拆裝方便。


    MBE-300
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    等離子技術(shù)-高束流射頻等離子體源

    產(chǎn)品概述:

    FERMI-RFPS-200是費(fèi)勉儀器公司最新生產(chǎn)的一種高效射頻等離子體源,通過(guò)線(xiàn)圈式結(jié)構(gòu),能在真空腔體內(nèi)激發(fā)產(chǎn)生等離子體,激勵(lì)氣體種類(lèi)包括但不限于H2、N2、O2、稀有氣體等,具有更好的穩(wěn)定性以及更精確的操控性,廣泛應(yīng)用于分子束外延系統(tǒng)(MBE)中氮化物生長(zhǎng)、氮原子注入和摻雜、氧化物生長(zhǎng)、氧原子的注入和摻雜、氫化物生長(zhǎng)以及氫原子表面清洗等。

    高束流射頻等離子體源
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    低溫技術(shù)-閉循環(huán)低溫樣品架-6軸

    產(chǎn)品概述:

    費(fèi)勉儀器提供的6軸閉循環(huán)低溫樣品架可以實(shí)現(xiàn)樣品位置以及姿態(tài)的精確控制,它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺(tái)、馬達(dá)控制系統(tǒng)四部分組成。整個(gè)樣品架及位移臺(tái)均使用無(wú)磁材料,可以在超高真空下使用。樣品臺(tái)可以在X、Y、Z方向大范圍移動(dòng),并可實(shí)現(xiàn)繞三個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)(旋轉(zhuǎn)角R1、俯仰角R2、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)角R3)。

    閉循環(huán)低溫樣品架-6軸
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    低溫技術(shù)-桌面減震型 Cryo-300

    產(chǎn)品概述:

    桌面減震型低溫光學(xué)恒溫器,采用GM制冷機(jī)做冷源,無(wú)液氦消耗。多級(jí)隔振設(shè)計(jì)使樣品臺(tái)震動(dòng)小于200nm。樣品臺(tái)最低溫度達(dá)3.6K。

    桌面減震型 Cryo-300
創(chuàng)立于2012年,總部位于上海,南京設(shè)有子公司
費(fèi)勉儀器先進(jìn)的高端儀器裝備服務(wù)商
ABOUT US

公司致力于利用底層的科學(xué)原理,為全球?qū)W術(shù)及研究機(jī)構(gòu)、工業(yè)客戶(hù)等,提供新技術(shù)、新工藝及新材料等領(lǐng)域的整體解決方案。

在10余年的發(fā)展道路上,費(fèi)勉儀器始終堅(jiān)持"自主研發(fā)+技術(shù)創(chuàng)新",在超高真空、低溫、薄膜制備及等離子四個(gè)技術(shù)領(lǐng)域,都有豐富的技術(shù)積累和成熟產(chǎn)品線(xiàn),代表性產(chǎn)品已在國(guó)內(nèi)外眾多知名高校、研究機(jī)構(gòu)及工業(yè)客戶(hù)中,得到了廣泛應(yīng)用和認(rèn)可。

費(fèi)勉儀器擁有健全、穩(wěn)定的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和管理團(tuán)隊(duì),在學(xué)術(shù)界及工業(yè)領(lǐng)域都有深入而廣泛的合作。公司已獲得上海市高新技術(shù)企業(yè)、上海市專(zhuān)精特新企業(yè)、上海市科技小巨人培育企業(yè)等多項(xiàng)榮譽(yù)。

  • 2012

    公司成立于

  • 30%

    研發(fā)人員占比

  • 20000+m2

    場(chǎng)地規(guī)模(獨(dú)立的生產(chǎn)及辦公空間)

  • 151項(xiàng)

    專(zhuān)利與認(rèn)證持續(xù)更新中

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