雙溫區蒸發(fā)源頂部和底部獨立加熱，底部蒸發(fā)區溫度可達1000℃，頂部區可達1400℃，最大溫差可達約600℃。無(wú)內置水冷，需搭配水冷套使用?？蛇x帶通孔或毛細管的內襯坩堝提高束流準直性。
| ● 頂部、底部溫度最高可達1000℃、1400℃ | ● 程序控溫，溫度波動(dòng)最小≤0.1% | ● 保溫效果好，功率較低 |
| ● 50cc大容量坩堝，可選內襯坩堝提高準直性 | ● 真空內長(cháng)度可定制 |
雙溫區 蒸發(fā)源 | 模塊描述 | 配置參數 |
| 型號 | E38DZ | |
| 尺寸 | 安裝法蘭 | DN38CF |
| 真空內長(cháng)度 | 290mm | |
| 真空內外徑 | 37mm | |
| 工作距離 | 200-300mm | |
| 坩堝 | 外坩堝容量 | 50cc |
| 內坩堝孔徑 | 0.5mm、0.7mm、3mm | |
| 坩堝材質(zhì) | PBN(外), Ta(內) | |
| 溫度 | 熱偶類(lèi)型 | C型(頂部)、K型(底部) |
| 最高工作溫度 | 1400℃ (頂部)、1000℃(底部) | |
| 溫度穩定性 | ≤0.1%，取決于PID溫控器 | |
| 最高除氣溫度 | 1500℃ (頂部)、1100℃(底部) | |
| 最高烘烤溫度 | 250℃ |
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